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・ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)

　真空中で固体表面にX線を照射すると，X線によってエネルギーをもらった表面原子から電子が飛び出す。この電子は，X線などの光の照射によって発生するので，光電子と呼ばれる。この光電子は，元素に固有のエネルギー値を有しているので，そのエネルギー分布を測定することによって組成を調べることができる。表面から深いところで発生した光電子は，表面に出てくるまでに吸収されるため，この方法による分析深さは，平均的な表面層の数十原子層(3～5nm)の領域になる。

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